硒化炉
型号：RG-3-8
详细描述
一、此设备主要用于铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池的硒化反应处理。
CIGS薄膜太阳能电池首先用磁控溅射制备出铜铟镓(CIG)薄膜预制层，然后在此设备中用固态硒源实现硒化处理，从而反应生成CIGS薄膜太阳能吸收层。
二、设备特点：
1、过滤器采用德国莱宝公司结构制作，吸附力强，便于取出清理和更换滤芯。
2、我公司采用国内先进的氦质谱真空检漏仪进行压升率检测，可保证技术指标的可信和准确，压升率指标接近或低于国标的小值。
三、主要技术参数
1、额定功率：3 Kw±10%
2、额定温度：A区230 ℃、B区800 ℃
3、冷态极限真空度：6.67×10-3 Pa(在100℃温度以下允许抽真空)
4、压升率：2.0 Pa/h
5、工作区尺寸：Φ100×600 mm（直径×长）
6、控温区数：3区
7、保护气氛：氩气
9、充气压力：≤500 Pa
10、电源：三相 380V 50Hz
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