卧式化学气相沉积炉
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产品详情

设备用途:

化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。

设备特点:

1 卧式结构,双炉门结构,炉门启闭采用气动方式。

2 双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。

3 控制方式为PLC加触摸屏方式,有手动及自动控制切换。自动化程度高,操作方便。

4 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。

5 配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。

主要技术参数:

No.型号

工作区尺

(WXHXL)mm

温度 

(℃)

真空度 

(Pa)

压升率 

(Pa/h)

温度均匀性

 (℃)

 (KW) 

1HZT-100-15400X400X60015001-1000.67±20100
2HZT-145-15500X500X75015001-1000.67±20145
3HZT-145-15600X600X90015001-1000.67±20190
4HZT-360-15700X700X200015001-1000.67±20360




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